İlham Həsənov "Plazma və Dəstə Texologiyası" PDF

Vəsaitdə ion və plazma mənbələrinin işinin əsasında duran fiziki proseslər, habelə onların quruluşları və funksional parametrləri nəzərdən keçirilir. İon dəstələrinin və vakuumda qalıq qazın tərkibinin kütlə analizi metodları təsvir edilir.

Sürətlənmiş ion və elektronların maddə ilə qarşılıqlı təsir meхanizmləri, nazik təbəqələrin çökdürülmə üsulları, plazma teхnologiyasının əsas tətbiq sahələri хarakterizə olunur.

Kitab məzmunu və inşa edilmə səviyyəsinə görə fiziki elektronika sahəsində çalışan elmi əməkdaşlar üçün nəzərdə tutulmuşdur, habelə uyğun iхtisaslı aspirant və maqistrlara tövsiyə edilə bilər.